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薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术 中文PDF版免费下载百度网盘下载

2016-10-09

薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术 中文PDF版全书共13章,从TFT元件的结构及特点,到TFT检查与修复,包括TFT阵列制作清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不良解析和检查修复。本书从TFT阵列大规模制造的角度,第一次比较全面地介绍了TFT-LCD生产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数。

薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术 中文PDF版全书共13章,从TFT元件的结构及特点,到TFT检查与修复,包括TFT阵列制作清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不良解析和检查修复。本书从TFT阵列大规模制造的角度,第一次比较全面地介绍了TFT-LCD生产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、品质控制、产品技术解析;以工艺原理、设备参数控制、材料特性要求、生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心,比较完整地介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。

目录:

第一章 TFT-LCD生产线建设

第二章 TFT元件的结构及特点

第三章 TFT工艺概述

第四章 TFT阵列制作清洗工艺

第五章 溅射成膜(金属膜)

第六章 CVD成膜(非金属膜)

第七章 曝光与显影工艺技术

第八章 湿刻工艺技术

第九章 干刻技术

第十章 光刻胶剥离与退火

第十一章 缺陷解析技术

第十二章 TFT检查与修复

第十三章 TFT制造工艺小结与技术展望

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